15일 오후 경북 포항에서 발생한 지진과 관련 국내 반도체 생산라인 차질은 발생하지 않은 것으로 나타났다.

삼성전자와 SK하이닉스 등에 따르면 이날 진동에 민감한 일부 반도체 장비가 지진을 감지하고 일시 중단됐으나 즉각 재가동되면서 생산라인 차질은 없었던 것으로 파악됐다.

삼성전자는 지진 발생 직후 기흥·화성·평택 공장과 충남 아산의 온양 공장 등을 대상으로 상황 파악에 나섰으며, 현재까지 피해가 발생하지 않았다고 밝혔다.

반도체 웨이퍼에 빛을 쬐어 반도체 회로를 인쇄하는 포토장비 등 일부 진동에 민감한 장비가 지진을 감지하면서 자동적으로 잠시 멈췄지만 즉각 정상 재가동됐으며 생산 차질은 전혀 없었던 것으로 확인됐다.

진동에 민감한 일부 장비는 지진 발생 시 큰 피해를 막기 위해 자동적으로 일시 정지됐다가 다시 재가동되는 시스템이다.

회사 측은 그러나 여진이 계속됨에 따라 상황을 계속 파악하며 만일의 사태에 대비하고 있다.

SK하이닉스도 이천과 충북 청주 반도체 공장에서 현재까지 접수된 피해나 생산라인 중단은 전혀 없다고 밝혔다.

LG디스플레이도 파주와 경북 구미 공장의 상황을 파악한 결과 파주 공장은 전혀 이상이 없었으나 구미 공장에서 일부 장비가 일시 가동 중단된 이후 즉시 정상화됐다고 밝혔다.

한편 지난해 9월 경북 경주에서 발생한 역대 최대 규모의 강진 때도 삼성전자와 SK하이닉스 반도체 생산라인 및 LG디스플레이 패널 생산라인의 일부 장비가 일시적으로 가동 중단됐었다.

/이상훈기자 lsh@