화성시는 극자외선(EUV) 노광장비 세계 1위 기업 ASML이 차세대 EUV 활용 삼성전자 초미세 반도체 제조 공정 연구개발(R&D) 지원을 위한 시설 건립 부지 매입 계약을 지난달 28일 LH와 체결했다고 4일 밝혔다.

앞서 정명근 화성시장을 비롯한 화성시는 K-반도체 핵심도시 도약을 위해 지난해 8월부터 ASML 前 CEO(피터 베닝크) 및 실무자를 직접 만나 국내 제조시설 설치 등 추가 투자 요청을 이끌어내기 위해 모든 행정력을 집중했다.

이를 위해 경기도, LH 동탄사업본부 및 한국전력공사 경기본부 등의 유관기관과 긴밀히 협력했다.

정 시장은 4일 방한 중인 ASML의 대외총괄부사장(프랭크 헤임스케르크)을 만나 “화성 New 캠퍼스(업무시설⦁재제조시설 및 트레이닝센터 등)에 이어 ‘ASML-삼성전자 연구지원시설(1조원)’ 건립 부지로 화성시를 선택해 주신 것에 감사하다”면서 “화성에서 추진하는 ASML 프로젝트의 성공을 위해 각종 인허가 부터 밀착지원하는 원스톱 서비스를 제공하겠다”고 말했다.

그러면서 “정부에서 추진 중인 첨단반도체기술센터(ASTC, 한국형 IMEC)의 화성시 유치를 위한 적극적인 지원과 조언을 부탁드린다”고 덧붙였다.

이에 프랭크 헤임스케르크 부사장은 “화성시의 전폭적인 지원으로 ‘ASML 화성 뉴 캠퍼스’ 조성이 계획대로 순조롭게 진행되는 것에 감사하다”고 답하면서, “삼성전자는 ASML의 중요 고객사로, 이번 연구지원시설 건립은 양사 간의 기술동맹을 돈독히 하고 국내 및 화성시 반도체 기업과의 협력을 확대․강화하는 계기가 될 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.

이날 간담회에는 주한 네덜란드 부대사(오니 얄링크) 등도 함께 배석했다.

화성시는 이번 면담을 계기로 네덜란드와 반도체 등 다양한 분야에서 교류협력을 확대할 수 있는 계기가 될 수 있을 것으로 기대하고 있다.

[ 경기신문 = 최순철 기자 ]